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真空干燥箱如何正確的選擇真空泵?

發(fā)布時(shí)間: 2022-09-21  點(diǎn)擊次數: 1606次

真空泵是真空干燥箱的必須品之一,客戶(hù)選用真空泵時(shí),需要注意下列事項:

1、真空泵的工作壓強應該滿(mǎn)足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如:真空鍍膜要求110-5mmHa的真空度,選用的真空泵的真空度至少要510-6mmHa。通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個(gè)到一個(gè)數量級。

2、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強范圍,如:擴散泵為10-3~10-7mmHg,在這樣寬壓強范圍內,泵的抽速隨壓強而變化,其穩定的工作壓強范圍為510-4~510-6mmHg。因而,泵的工作點(diǎn)應該選在這個(gè)范圍之內,而不能讓它在10-8mmHg下長(cháng)期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作壓強應小于110-5mmHg為好。

3,真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量

4、正確地組合真空泵。由干真空泵有選擇性抽氣,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿(mǎn)足抽氣要求,需要幾種泵組合起來(lái),互相補充才能滿(mǎn)足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱(chēng)陰極測射離子泵)對氙有一定的抽速,兩者組合起來(lái),便會(huì )使真空裝苦得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下下作,需要

預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來(lái)使用。

5、真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無(wú)油時(shí),應該選各種無(wú)油泵,如;水環(huán)泵,分子篩吸附泵,濺射離子泵,低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污

染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。

6.了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無(wú)顆?;覊m,有無(wú)腐蝕性等。選擇真空泵時(shí),需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的泵、如果氣體中含有蒸氣,顆粒,及腐蝕

性氣體,應該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設備,如冷凝器、除塵器等。

7、真空泵排出來(lái)的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無(wú)油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。

8、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對工藝過(guò)程及環(huán)境有無(wú)影響,若工藝過(guò)程不允許,應選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。

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